團隊負責人：王晗
團隊成員：王晗、尹自強、趙翼翔、張平、王素娟、董永超、吳佩萱、王瑞洲、孫占文、李克天、曾俊、朱自明、房飛宇
研究方向：
（1）超精密制造裝備與制造工藝：主要面向超精密靜壓回轉類軸承的設計與制造；同時研究超精密平面導軌與平台的設計與研究。（2）超精密檢測技術與關鍵檢測基礎部件研究：研究超精密掃描測量的誤差分離方法及光學表面輪廓重構算法，深入探索超精密光栅尺的設計方法及測量技術。（3）超精密增減材加工工藝與微納器件設計實現：微結構陣列超精密增減材加工機理和功能保障方法；面向電子制造的微納增材加工裝備的研制與應用。
研究成果：
近五年，團隊在超精密制造裝備、超精密檢測技術、超精密加工工藝和微納器件制造工藝及裝備四個主要研究方向，發表SCI論文29篇，EI論文7篇；申請發明專利140件，其中授權48件，申請并授權實用新型專利12件；參與制定企業标準3個。獲批國家、省市級科研項目5項，總經費超2000萬元。獲得國家專利獎優秀獎1項，中國機械工業獎二等獎1項，廣東省科學技術獎一等獎1項，國家技術發明獎二等獎1項。
