陳雲，教授，博士生導師
省部共建精密電子制造技術與裝備國家重點實驗室
太阳成集团tyc234cc 太阳成集团tyc234cc 科研副院長
機械電子工程系第一黨支部(廣東樣闆黨支部) 書記
郵箱：chenyun@gdut.edu.cn
【簡介】
主要從事先進電子封裝工藝與裝備、半導體濕法刻蝕加工技術與器件、激光加工技術與裝備等方向研究。主持國家自然科學基金優秀青年科學基金項目、國家重點研發計劃項目、國家自然科學基金面上項目、GF重大工程項目、中央軍委裝備預研領域基金、廣東省重點研發計劃項目等科研項目近20項。在科學出版社出版專著1部，發表SCI論文70多篇，其中第一作者或通訊作者在Nature Communications、Advanced Materials、Small、Nano Letters等國際專業期刊上發表40篇；獲發明專利授權130多件，其中第一發明人獲美國發明專利授權11件、中國發明專利授權74件。擔任SCI 1區期刊International Journal of Extreme Manufacturing青年編委、廣東省半導體裝備及零部件學會副理事長等。獲國家科技進步二等獎（2023，排名第三）、廣東省技術發明一等獎（2023，排名第二）、中國機械工業科學技術一等獎（2022，排名第二）、廣東專利金獎（2022，排名第二）、湖南省優秀博士論文（2017）、高等學校科學研究優秀成果獎（科學技術）一等獎（2015，排名第五）、廣東省科技進步一等獎（2018，排名第六）、機械工業聯合會科技進步二等獎（2018，排名第九）、香江學者年會最佳海報獎（2019）等。入選國家優青（2024）、廣東省科技創新青年拔尖人才計劃（2022）、香江學者計劃（2017）。
【教育背景與工作經曆】
Ø 2021/01~至今，太阳成集团tyc234cc，太阳成集团tyc234cc，教授
Ø 2018/01~2020/12，太阳成集团tyc234cc，太阳成集团tyc234cc，副教授
Ø 2017/11~2019/11，香港中文大學，工學院，香江學者計劃
Ø 2015/01~2017/12，太阳成集团tyc234cc，太阳成集团tyc234cc，講師
Ø 2016/07~2017/07，美國佐治亞理工學院，訪問學者
Ø 2013~2014，香港城市大學，系統工程與工程管理，研究助理
Ø 2009/09~2014/07，中南大學，機械工程，碩博連讀
Ø 2005/09~2009/06，中南大學，機械設計制造及其自動化，本科
【代表性科研項目】
(1)國家自然科學基金優秀青年基金項目，半導體濕法刻蝕，52422511，2025/01-2027/12，主持
(2)國家重點研發計劃項目，Mini LED 巨量轉移用高速機器人關鍵技術與應用示範，2022YFB4701000，2022/11-2025/10,主持
(3)GF重大工程項目，******匹配技術研究，2024/03-2025/12，主持
(4)國家自然科學基金面上項目，第三代半導體納米結構的電場/金屬輔助濕法刻蝕加工新方法研究，51975127，2020/01-2023/12，主持
(5)國家自然科學基金青年基金項目，外力引導式化學刻蝕加工新方法制造皮升級微流體泵的基礎研究，51605100，2017/01-2019/12，主持
(6)軍委裝備發展部領域基金，超高密度引線鍵合技術研究，JZX7Y20190263070501，2018/12-2020/12，主持
(7)國家“香江學者”計劃，XJ2017050，實現矽在納米級的均勻高縱橫比金屬輔助化學蝕刻，2017/11-2019/11，主持
(8)廣東省自然科學基金重點項目，2022B1515120011，集成電路玻璃通孔3D集成封裝與缺陷檢測關鍵技術，2022/10-2025/09，主持
(9)粵港澳聯合創新領域項目，2020A0505140008,面向高通量制造半導體三維微納結構的光誘導濕法刻蝕技術，2021/01-2022/12，主持
(10)廣東省重大科技專項，2019B020231001，臨床用新一代測序系統的研發及其在精準醫學中的應用，2019/01-2021/12，課題負責人
(11)廣東省公益能力項目，2016A010102016，面向高性能白光LED封裝的高質量粉膠分配關鍵技術研究，2016/01-2018/12，主持
(12)廣東省青年拔尖人才項目，2021TQ06Z128，2022/11-2025/10，主持
(13)廣州市基礎與應用基礎研究專題科技菁英“領航”項目，SL2024A04J01501，5nm及以下納米通孔陣列的高精高效濕法刻蝕技術應用基礎研究，2024/01-2027/12，主持
(14)廣東省自然科學基金面上項目，微流體驅動的交替型刻蝕加工新方法制造折點納米線陣列的基礎研究，2017A030313314，2017/05-2020/04，主持
(15)廣州市科學研究專項，外力引導式化學刻蝕新方法加工複雜微結構陣列的基礎研究，201707010446，2017/05-2020/04，主持
(16)廣州市軍民融合補助項目，21ZK0355，超高密度引線鍵合技術研究，主持
(17)中國工程院戰略咨詢項目，20210429165050，電子工業後端制造裝備及其關鍵零部件卡脖子的關鍵基礎和産業鍊的短闆問題實證研究，2021/01-2021/12，參加
(18)國家自然科學基金重大集成項目，U20A6004，高密度器件智能制造的基礎科學問題研究，2021/01-2024/12，參加
(19)科技部973項目，2011CB013104，封裝執行系統多參數耦合規律及複合運動生成，2012/01-2016/12，參加
(20)國家自然科學聯合基金，U1601202，功能微結構陣列的新型加工理論與關鍵技術，2017/01-2020/12，核心骨幹，排名第三
(21)廣東省重大科技專項，2018B090906002,複雜構件表面激光精細制造工藝與裝備，2019/01-2021/12，核心骨幹，排名第二
(22)廣東省公益能力項目，2015B010104008，細間距芯片低溫三維倒裝互連關鍵技術研究與裝備開發，2015/09-2018/09，核心骨幹，排名第三
(23)廣東省自然科學基金重大基礎培育項目，2016A030308016，集成電路三維封裝中互連微通道形性協同的關鍵基礎問題研究，2016/01-2020/12，核心骨幹，排名第二
(24)廣東省應用型科技研發專項資金項目，2015B010133005，LED倒裝與高密度芯片模組化精準封裝核心裝備研制及産業化，2015/09-2018/09，核心骨幹，排名第三
(25)廣東省重大科技專項，2016B090905001，高密度超薄柔性封裝基闆研發與産業化，2016/01-2018/12，參加
【學術獎勵】
(1)面向高性能芯片的高密度互連封裝制造關鍵技術及裝備，國家科技進步二等獎，2023（排名3/10）
(2)電子器件高密度封裝的微細陣列制造關鍵技術與裝備，廣東省發明一等獎，2023（排名2/15）
(3)多芯片高密度集成的電子基闆高精高效制造關鍵技術與應用，中國機械工業科學技術科技進步一等獎，2022（排名2/15）
(4)一種差異化微結構的同步濕法刻蝕加工方法，廣東專利金獎，2022（排名2/7）
(5)三維窄節距、大跨度互連封裝的關鍵技術與應用，高等學校科學研究優秀成果獎（科學技術）一等獎，2015（排名5/11）
(6)高端電子基闆多品種高精高效制造核心裝備、關鍵工藝及系統集成，廣東省科技進步一等獎，2018（排名6/15）
(7)面向點位操作的高速精密測量與定位關鍵技術及應用，中國機械工業科學技術進步二等獎，2018（排名9/10）
(8)引線成形動力學過程實驗與建模研究，湖南省優秀博士論文，2017（排名1）
(9)Engineering the Nanowire Geometry by Metal Assisted Chemical Etching Method，香江學者年會最佳海報獎，2019（排名1/1）
【代表性論著】
1)陳雲、陳新 著，半導體濕法刻蝕加工技術，科學出版社，2023
2)Yun Chen, Yuanhui Guo, Bin Xie, Fujun Jin, Li Ma, Hao Zhang, Yihao Li, Xin Chen*, Maoxiang Hou, Jian Gao, Huilong Liu, Yu-Jing Lu*, Ching-Ping Wong, Ni Zhao*, Lightweight and drift-free magnetically actuated millirobots via asymmetric laser-induced graphene, Nature Communications, 2024, 15: 4334
3)Yun Chen, Bin Xie, Junyu Long, Yicheng Kuang, Xin Chen*, Maoxiang Hou, Jian Gao, Shuang Zhou, Bi Fan, Yunbo He, Yuan-Ting Zhang, Ching-Ping Wong*, Zuankai Wang*, Ni Zhao*. Interfacial Laser-Induced Graphene Enabling High-Performance Liquid-Solid Triboelectric Nanogenerator, Advanced Materials, 2021, 33, 2104290
4)Yun Chen, Liyi Li, Cheng Zhang, Chia-Chi Tuan, Xin Chen*, Jian Gao, Ching-Ping Wong*. Controlling Kink Geometry in Nanowires Fabricated by Alternating Metal-Assisted Chemical Etching. Nano Letters, 2017, 17(2): 1014–1019
5)Yun Chen, Cheng Zhang, Liyi Li, Chia-Chi Tuan, Fan Wu, Xin Chen*, Jian Gao, Yong Ding, Ching-Ping Wong*, Fabricating and Controlling Silicon Zigzag Nanowires by Diffusion-Controlled Metal-Assisted Chemical Etching Method. Nano Letters, 2017, 17(7): 4304-4310
6)Yun Chen, Yicheng Kuang, Dachuang Shi, Maoxiang Hou, Xin Chen*, Lelun Jiang, Jian Gao, Lanyu Zhang, Yunbo He, Ching-Ping Wong*, A triboelectric Nanogenerator Design for Harvesting Environmental Mechanical Energy from Water Mist, Nano Energy, 2020, 73, 104765
7)Yun Chen, Cheng Zhang, Liyi Li, Shuang Zhou, Xin Chen*, Jian Gao, Ni Zhao*, Ching-Ping Wong*, Hybrid Anodic and Metal-Assisted Chemical Etching Method Enabling Fabrication of Silicon Carbide Nanowires, Small, 2019, 15(7), e1803898
8)Yun Chen, Junyu Long, Shuang Zhou, Dachuang Shi, Yan Huang, Xin Chen*, Jian Gao, Ni Zhao*, Ching-Ping Wong*, UV Laser-Induced Polyimide-to-Graphene Conversion: Modeling, Fabrication and Application, Small Methods, 2019(3): 1900208
9)Yun Chen, Junyu Long, Bin Xie, Yicheng Kuang, Xin Chen*, Maoxiang Hou, Jian Gao, Huilong Liu, Yunbo He, Ching-Ping Wong*, One-step Ultraviolet Laser-Induced Fluorine-Doped Graphene Achieving Superhydrophobic Properties and Its Application in Deicing, ACS Applied Materials & Interfaces, 2022, 14(3), 4647–4655
10)Yun Chen, Yanhui Chen, Junyu Long, Dachuang Shi, Xin Chen, Maoxiang Hou, Jian Gao, Huilong Liu, Yunbo He, Bi Fan, Ching-Ping Wong, Ni Zhao. Achieving a Sub-10 Nm Nanopore Array in Silicon by Metal-Assisted Chemical Etching and Machine Learning. International Journal of Extreme Manufacturing, 2021, 3(3): 35104
11)Yun Chen*, Han-xiong Li, Xiuyang Shan, Jian Gao, Xin Chen, Fuliang Wang. Ultrasound Aided Smooth Dispensing for High Viscoelastic Epoxy in Microelectronic Packaging. Ultrasonics Sonochemistry, 2016(28): 15-20
12)Yun Chen, Zuohui Liu, Hengxu Wu, Maoxiang Hou, Li Ma*, Zhiming Xiao and Xin Chen. Highly Ordered Bamboo-like 4H-SiC Nanowire Array Enabling Low Turn-on Field and Excellent Field Emission Stability, IEEE Transactions on Electron Devices, 2024, 71(4):2830-2834
13)Dachuang Shi#, Yun Chen#*, Yao Yao, Maoxiang Hou, Xin Chen, Jian Gao, Yunbo He, Guoping Zhang, Ching-ping Wong*. Ladderlike Conical Micropillars Facilitating Underwater Gas-Bubble Manipulation in an Aqueous Environment. ACS Applied Materials & Interfaces, 2020, 12(37): 42437-42445
14)Dachuang Shi, Yun Chen*, Zijian Li, Shankun Dong, Liyi Li, Maoxiang Hou, Huilong Liu, Shenghe Zhao, Xin Chen, Ching-Ping Wong, Ni Zhao*, Anisotropic charge transport enabling high-throughput and high-aspect-ratio wet etching of silicon carbide, Small Methods, 2022, 6: 2200329
15)Yihao Li, Junyu Long, Yun Chen*, Yan Huang*, Ni Zhao*, Crosstalk-free, high-resolution pressure sensor arrays enabled by high-throughput laser manufacturing, Advanced Materials, 2022, 34: 202200517
16)Dachuang Shi, Yun Chen*, Xun Chen, Xin Chen, Jian Gao, Yunbo He, Ching-ping Wong*. Ladder-like tapered pillars enabling spontaneous and consecutive liquid transport. ACS Applied Materials & Interfaces, 2018, 10(40): 34735-34743
17)Bin Xie; Yuanhui Guo; Yun Chen*; Xiangyuan Luo; Hao Zhang; Junyu Long; Guanhai Wen; Maoxiang Hou; Huilong Liu; Li Ma; Xin Chen, Dual-indicators machine learning assisted processing high-quality laser-induced fluorine-doped graphene and its application on droplet velocity monitoring sensor, Carbon, 2024, 226:119231
18)Li Ma, Yanhui Chen, Yun Chen*, Maoxiang Hou, Xin Chen, Ching-Ping Wong, Yan Niu, Minghui Yao, Interfacial Stress and Crack Propagation Experimental Study in Mini-LED Chip Debonding, International Journal of Mechanical Sciences, 2024, 276:109384
19)Huilong Liu, Zhijian Sun, Yun Chen*, Wenjun Zhang*, Xin Chen*, Ching-Ping Wong*, Laser processing of flexible in-plane micro-supercapacitors: Progresses in advanced manufacturing of nanostructured electrodes, ACS Nano, 2022, 16(7): 10088-10129
20)Huilong Liu, Yixin Zheng, Kyoung-sik Moon, Yun Chen*, Dachuang Shi, Xin Chen*, Ching-Ping Wong*, Ambient-air in situ fabrication of high-surface-area, superhydrophilic, and microporous few-layer activated graphene films by ultrafast ultraviolet laser for enhanced energy storage, Nano Energy, 2022(94), 106902
21)Jian Wang, Shengzhu Yi, Zhilun Yang, Yun Chen*, Lelun Jiang*, Ching-Ping Wong, Laser Direct Structuring of Bioinspired Spine with Backward Micro-barbs and Hierarchical Microchannels for Ultrafast Water Transport and Efficient Fog Harvesting, ACS Applied Materials & Interfaces, 2020, 12(18): 21080-21087
22)Lelun Peng, Yuanxi Zhang, Jian Wang, Qingyuan Wang, Guizhou Zheng, Yuanyuan Li, Zhipeng Chen, Yun Chen*, Lelun Jiang*, Ching-Ping Wong. Slug-inspired Magnetic Soft Millirobot Fully Integrated with Triboelectric Nanogenerator for On-board Sensing and Self-powered Charging, Nano Energy, 2022, 99: 107367
23)Maoxiang Hou, Neng Wang, Yun Chen*, Zhengping Ou, Xin Chen, Fangcheng Shen, Jiang, Haiming*, Laser-induced graphene coated hollow-core fiber for humidity sensing. Sensors and Actuators B: Chemical, 2022, 359: 131530
24)Maoxiang Hou, Yixuan Bu, Yun Chen*, Yuanhui Guo, Guanhai Wen, Xin Chen, Fast-printed laser-induced-graphene pattern enabling directional thermal manipulation. International Journal of Heat and Mass Transfer, 2022, 197: 123303
25)Maoxiang Hou, Guanhai Wen, Jintao Chen, Bin Xie, Lu Yan, Yun Chen⁎, Xin Chen, Laser induced graphene based high-accurate temperature sensor with thermal meta-shell encirclement. International Journal of Heat and Mass Transfer, 2023, 217, 124719
26)Maoxiang Hou, Zhengping Ou, Junyu Long, Shuquan Ding, Guanhai Wen, Yun Chen*, Xin Chen, Machine learning enables accurate wire loop profile prediction for advanced microelectronics packaging, Journal of Manufacturing Processes, 2022, 84: 394-402
【代表性授權發明專利】
1)Yun Chen, Shengbao Lai, Biao Li, Zuohui Liu, Guanhai Wen, Maoxiang Hou, Xin Chen, Silicon carbide (SiC)-loaded graphene photocatalyst for hydrogen production under visible light irradiation and preparation thereof, US11969716B2, 2024/4/30(美國)
2)Yun Chen, Biao Li, Aoke Song, Shankun Dong, Shengbao Lai, Maoxiang Hou, Xin Chen, Film vibration device and fabrication method thereof and cleaning device including the same, US11969771B2, 2024/04/30(美國)
3)Yun Chen, Pengfei Yu, Aoke Song, Zijian Li, Maoxiang Hou, Xin Chen; Method for Manufacturing Core-Shell Coaxial Gallium Nitride (GaN) Piezoelectric Generator, US11963450B2, 2024/4/16(美國)
4)Yun Chen, Yuanhui Guo, Bin Xie, Lu Yan, Maoxiang Hou, Xin Chen, Magnetically Controlled Graphene-Based Micro-/Nano- Motor and Fabrication Method thereof, US11745160B2, 2023/09/05(美國)
5)Yun Chen, Yuanxiang Luo, Shuquan Ding, Canguang Lin, Zenguang Gao, Xin Chen, Xun Chen, Jian Gao, Method and device for preparing graphene-based polyethylene glycol phase change material, 2022/05/24, US11339316B1(美國)
6)Yun Chen, Yuanhui Guo, Yixuan Bu, Shuquan Ding, Shengyu Hou, Junyu Long, Xun Chen, Xin Chen, Jian Gao, Method for Producing Graphene Film with Thermal Management Function, 2022/05/17, US11331689B1(美國)
7)Yun Chen, Shuquan Ding, Yunbo He, Maoxiang Hou, Xin Chen, Jian Gao, Ni Zhao, Lanyu Zhang , et al, Method for processing an ultra-high density space interconnect lead under light source guidance, 2021/12/28, US11,211,357B2(美國)
8)Yun Chen, Long Junyu, Shuang Zhou, Xin Chen, Jian Gao, Qiang Liu, et al. Method and Device for Processing Microstructure Arrays of Polystyrene-Graphene Nanocomposites, 2020/12/01, US10,850,304B2(美國)
9)Yun Chen, Dachuang Shi, Xin Chen, Qiang Liu, Jian Gao, et al, Mass Transfer Method for Micro-Leds With a Temperature controlled Adhesive Layer, 2020/09/22, US10,784,400B2(美國)
10)Yun Chen, Xin Chen, Dachuang Shi, Xun Chen, Qiang Liu, Jian Gao, Chengqiang Cui. Method for Synchronous Electroplating Filling of Differential Vias and Electroplating Device Implementing Same, 2019/11/26, US10,487,411B1(美國)
11)Yun Chen, Xin Chen, Dachuang Shi, Jian Gao, et al, Method of Processing Nano-and Micro-Pores, 2019/10/01, US10,427,936B2(美國)
