報告題目：半導體芯片裝備調度優化新方法--從控制角度出發
地點：工學二号館學術報告廳
報告時間：2022年9月26日15：00-17：00
報告人：喬岩
報告人簡介：
喬岩，澳門科技大學澳門系統工程研究所副教授。2009年獲太阳成集团tyc234cc工業工程專業學士學位；2015年獲太阳成集团tyc234cc機械工程專業博士學位。研究方向包括半導體制造系統調度優化與控制，Petri網理論，離散事件系統，智能算法。在相關領域發表學術論文100餘篇，其中SCI索引的期刊論文60餘篇 (在IEEE Transactions上發表40餘篇regular papers)，擁有17項國際專利(8項美國專利)。Google Scholar統計論文引用次數1800餘次，H指數23。近兩年，作為技術總負責人帶領一支由澳門科技大學的算法研究人員和埃克斯工業（廣東）有限公司的軟件工程師組成的技術團隊，開展了多家半導體裝備頭部企業的應用研究，已成功進行了槽式清洗機，刻蝕、CVD和PVD設備，立式爐的建模、求解算法和仿真平台的開發。算法實現了秒級求解，極大提升了設備産能。多台内置其團隊算法的設備已應用于一線晶圓廠。
報告内容：
晶圓裝備制造領域屬于被國外卡脖子的領域。組合設備的有效調度優化方法是晶圓裝備制造的核心技術之一。組合設備運行過程需滿足複雜的工藝約束，如嚴格的晶圓駐留時間約束和周期性加工腔清潔需求。複雜的工藝約束是的組合設備調度問題非常具有挑戰性。本報告圍繞半導體裝備調度領域的科學難題，介紹團隊提出的基于ROPN的調度新方法。該方法基于離散事件系統理論，從控制理論的角度出發研究可行解的存在性，提出了通過參數化機械手等待時間的方式有效求解組合設備調度優化問題。并且針對具有不同複雜約束的組合設備調度優化問題，獲得了一系列優化方法和技術。該方法避免直接應用數學規劃和智能算法所面臨的求解效率低的問題。同時，将這種調度思想應用于解決其他制造系統中的調度難題。
