學術報告:藍寶石襯底固結磨粒加工技術研究進展
來源: 時間:2019-05-30 浏覽:



報告題目:藍寶石襯底固結磨粒加工技術研究進展

報告人: 陸靜教授(華僑大學)

時 間: 11月29日(星期四)上午9:30-10:30

地 點: 大學城校區工學二号館603會議室

陸靜教授簡介:

陸靜,華僑大學制造工程研究院教授,博士生導師。福建晶安光電有限公司技術顧問,寬禁帶半導體材料制備山西省重點實驗室外聘專家。ICAT Associate Member,CMES生産工程分會光整加工專業委員會委員。主要研究方向是納米粉體表面改性及應用,新型研抛工具的設計制備和光電材料的超精密加工。

報告内容簡介:

單晶藍寶石因其獨特的晶體結構具有優異的物理和化學性能,廣泛應用于航空航天、軍工國防、消費電子、半導體照明等領域,其中最主要的應用是作為LED襯底材料。全球生産的LED中超過80%是以藍寶石為襯底,其加工質量對整個産業有非常重要的影響。

目前藍寶石的磨抛加工主要是采用遊離磨料,存在加工效率低、磨料消耗量大、環境污染較嚴重的問題,報告介紹了固結磨粒加工在藍寶石磨抛中的應用進展,從材料的本征屬性出發,根據其磨粒加工去除機理,設計制造磨抛工具、通過加工效果評價和損傷控制進行全工藝鍊優化,實現藍寶石襯底的高效超精綠色制造。