學術報告:高精度MEMS加速度計與自供電加速度傳感器研究
來源: 時間:2019-11-07 浏覽:

主講人:周曉峰 副教授

時間:2019年11月13日(星期三)下午2:30-3:30

地點:大學城校區實驗三号樓201會議室


摘要:

      随着物聯網技術與人工智能的發展,傳感技術的應用與研究也變得越來越廣泛,已經滲透到了各個專業領域。傳感器件将現實世界中特定的物理信号,包括聲、光、熱、電、磁、力等轉換為信息世界可以處理的電信号。這些功能與性能各異的傳感器中有一類重要的傳感器,就是可以測量振動或者加速度的加速度傳感器。本報告針對加速度傳感器的研究進展,介紹一種高精度MEMS加速度傳感器和一種利用摩擦生電構建的自供電加速度傳感器。主要内容包括加速度傳感器的研究背景,高精度MEMS加速度傳感器的設計與制備,及其在石油勘探及微小衛星的應用情況。另一方面,介紹現在傳感器研究的前沿方向(自驅動傳感)的一些研究進展,詳細介紹如何應用摩擦發電開發一系列的自供電加速度傳感器。


主講人簡介:


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周曉峰,2002年7月于華東師範大學電子系獲學士學位,2007年6月于華東師範大學獲得微電子學與固體電子學碩士學位,2012年7月于中國科學院上海微系統與信息技術研究所獲得工學博士學位。2007年7月至2018年12月,在中國科學院上海微系統與信息技術研究所分别任研究實習員、助理研究員和副研究員。現任華東師範大學電子工程系副教授。長期緻力于微納機電系統(MEMS/NEMS)、傳感技術和微能源技術的研究。作為項目負責人及主要骨幹完成國家自然科學基金項目3項,作為主要骨幹完成國家科技重大專項課題2項和國家科技部863課題2項。研制出高性能MEMS加速度傳感器,為新型“全數字地震數據采集系統”重大裝備的研發提供了重要支撐;研制的抗單粒子闩鎖加速度傳感器模塊已提供給我國系列微納衛星應用;提出了一種拓撲流體二極管,為微納功能表面/界面的研究開辟了新的理論方向和技術基礎。提出的基于摩擦界面效應的納米發電機及自供電加速度傳感器的研究,自2017在國際著名能源類學術期刊《Nano Energy》已經發表多篇學術論文,引起了國際同行的廣泛關注。相關工作已在Science Advances(1篇)、Nano Energy(4篇)和Nanoscale(1篇)等SCI及EI學術刊物上發表論文24篇,申請發中國發明專利10餘項,其中8項已獲得授權,另外還獲得了3項美國專利授權。